Rango de exposición máximo de la máquina de fotolitografía

Hace referencia al rango máximo de área que puede soportar la máquina de litografía en una sola exposición.

En el proceso de fotolitografía, el área máxima que puede soportar la máquina de fotolitografía en una sola exposición es el área de exposición. Progreso avanzado: el área de campo de exposición máxima que puede admitir una máquina de litografía de escaneo es de 26 mm × 33 mm, mientras que el área de exposición de una máquina de litografía paso a paso es de solo 22 mm × 22 mm.